六氟化钨
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- CAS号:
- 7783-82-6
- 英文名:
- Tungsten hexafluoride
- 英文别名:
- WF6;Tungstenfluoride;Hexafluorotungsten;TUNGSTEN(VI) FLUORIDE;TUNGSTEN HEXAFLUORIDE;Tungsten fluoride (WF6);Tungstenhexafluoride99%;Wolfram(VI)hexafluoride;Tungsten hexafluoride 99%;(oc-6-11)-tungsten fluoride
- 中文名:
- 六氟化钨
- 中文别名:
- 氟化钨;六氟化鎢;六氟化钨;氟化钨(VI);氟化物测定用标准溶液
- CBNumber:
- CB2324737
- 分子式:
- F6W
- 分子量:
- 297.83
- MOL File:
- 7783-82-6.mol
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六氟化钨性质、用途与生产工艺
化学式WF6。分子量297.84。无色气体或淡黄色液体。有强刺激性。有毒,其毒性与氟相似。温度很低时呈白色固体。能溶于有机溶剂并产生特殊的颜色。遇水分解。在空气中被潮气分解而强烈冒烟,生成黄钨酸或三氧化钨。化学性质活泼。几乎能和所有的金属(除金和铂)反应。对镍、蒙乃尔合金和不锈钢也有腐蚀性,但Ni和不锈钢可抗其腐蚀性。干燥状态时,对玻璃的腐蚀性较弱,而在湿气中则能迅速反应。与气态氨反应强烈。能被氨水或碱所吸收。与碱金属氟化物可成复盐。溶于苯等多种有机溶剂。
【密度】 3.44×103kg/m3(15℃,液体)
【熔点】 2.5℃(5.6×104帕)
【沸点】 17.5℃
【临界温度】 171℃
【临界压力】 445.8kPa
【制备方法】 由金属钨粉与元素氟直接反应合成。
【主要用途】 (1)一种强氟化剂,用于气相沉积法制钨膜。(2)在微电子工业中用作化学气相淀积硅化钨或钨,以制作低电阻、 高熔点的互连线。
图1为六氟化钨分子结构式。
六氟化钨(WF6)是唯一能稳定存在的钨的氟化物,具有极强的腐蚀性,可根据外界环境的变化表现出灵活的物化性能,被广泛应用于工业生产的各个领域。六氟化钨在电子工业中主要作为集成电路的配线材料使用,其在经过化学气相沉积工艺后可形成金属钨导体膜,钨导体膜在集成电子学中通常被用作高传导性的互连金属、金属层间的通孔和垂直接触的接触孔以及铝和硅间的隔离层,因此被广泛应用于半导体集成领域;另外,六氟化钨还可以应用于太阳能吸收器以及 X 射线发射电极的制造、导电浆糊等电子元器原材料。
遇潮湿、空气或水会分解,放出剧毒和有腐蚀性的氟化氢烟雾。对皮肤、眼睛、粘膜能引起极严重的灼伤。高浓度暴露会引起恶心、呕吐、腹痛、抽搐、肾损伤。本信息由Chemicalbook晓楠编辑(2015-09-05)。
装于特殊钢瓶内,贮于阴凉、通风的库房内。避免日光直射。远离热源和火源。防止受潮。与金属、玻璃制品隔离贮运。须贴“毒气”标志。航空、铁路禁止运输。周围其他可燃物着火时,可用干粉、二氧化碳灭火。可用水冷却钢瓶,迅速关闭阀门。
眼睛受刺激可致盲,须不断用水冲洗,迅送医院诊治。 皮肤和粘膜受腐蚀后很难痊愈,须用水冲洗,再涂敷氧化镁甘油软膏或稀氨水,并就医诊治。
类别
压缩气体和液化气体
可燃性危险特性
遇水分解有毒氟化氢气体和钨酸
储运特性
库房通风低温干燥
灭火剂
水
职业标准
TLV-TWA 5 毫克(钨)/立方米; STEL 10 毫克(钨)/立方米
六氟化钨
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