1590-87-0
1590-87-0 结构式
基本信息
中文别名
二矽烷乙硅烷
英文别名
Si2H6DISILANE
Silicoethane
disilicoethane
DISILANE, 99.9+%
DISILANE, 99.998%, ELECTRONIC GRADE
所属类别
化学试剂:硅烷试剂物理化学性质
熔点-132°C
沸点-14,5°C
密度0,686 g/cm3
闪点<10°C
溶解度reacts with H2O, ctc, chloroform; soluble in EtOH, benzene
形态无色气体
比重0.686
颜色colorless gas; flammable
水溶解性soluble CS2, ethanol, benzene [MER06]
水解敏感性10: reacts extremely rapidly with moisture and oxygen - may be pyrophoric - sealed system required
Merck13,3391
稳定性自燃。与氧化剂和卤素急剧地发生反应。可能与空气形成爆炸性混合物。
InChIKeyPZPGRFITIJYNEJ-UHFFFAOYSA-N
CAS 数据库1590-87-0
EPA化学物质信息Disilane (1590-87-0)
制备方法
方法1
1.采用硅烷原料气,经流量计进入放电管,在适当温度、频率和电压下,得到含乙硅烷、甲烷和氢的混合气,将混合气在不同的冷却条件下进行吸收,除掉杂质,可得高纯乙硅烷。
2. 甲硅烷经辉光放电后聚合生成高级硅烷,用液氮冷却回收,采用低温精馏法除去氢和甲硅烷即可。
3. 采用硅烷原料气,经质量流量计进入放电管,在适当温度、频率和电压下,生成含一定量乙硅烷、甲烷和氢的混合气,混合气在不同的冷却条件下进行吸收,杂质被排出,可得高纯乙硅烷。
常见问题列表
化学性质
乙硅烷是一种有毒的化合物,在室温下为气态。它的性质与乙烷很类似,都是无色易燃的气体,但是它的硅-硅键比乙烷的碳-碳键还来的弱,因此比乙烷还不稳定。乙硅烷通常是氢很好的来源,只要经过简单的化学反应就可以得到氢。
用途
甲硅烷和乙硅烷在 640 °C下分解,会沉积非晶硅。这个化学气相沉积过程与光伏器件的制造有关。它用于生产硅晶圆。
乙硅烷气体可用于控制 SiC 热分解生长石墨烯过程中,Si 蒸气的压力。 Si蒸气的压力会影响生产的石墨烯的质量。
生产工艺
硅化镁法
Mg2Si + HCl → Si2H6+ MgCl2
反应产物为单硅烷、乙硅烷、丙硅烷、丁硅烷的混合物,把它们精制分离后得乙硅烷。
还原法
用氢化铝锂等还原剂还原六氯乙硅烷。乙硅烷用低温精馏和吸附等方法精制。
甲硅烷无声放电法
甲硅烷经辉光放电后聚合生成高级硅烷,用液氮冷却回收,采用低温精馏法除去氢和甲硅烷即可。