19824-59-0
中文名称
五(二甲氨基)钽(V)
英文名称
PENTAKIS(DIMETHYLAMINO)TANTALUM
CAS
19824-59-0
分子式
C10H30N5Ta
分子量
401.33
MOL 文件
19824-59-0.mol
更新日期
2026/11/05 12:04:44
19824-59-0 结构式
基本信息
中文别名
五(二甲胺)钽五(二甲氨基)钽(V)
PENTAKIS(DIMETHYLAMINO)TANTALUM(V),MIN98%
英文别名
PDMATTADMA
Ta(NMe2)5
PDMAT: Ta[N(CH3)2]5
Tantalum dimethylamide
TANTALUM (V) DIMETHYLAMIDE
PENTAKIS(DIMETHYLAMINO)TANTALUM
TANTALUM PENTAKIS(DIMETHYLAMINO)
TANTALUM PENTAKIS(DIMETHYLAMIDE)
PENTAKIS(DIMETHYLAMINO)TANTALUM (V)
所属类别
有机原料：有机钪、钽、铊、钨、锑、镧、铅、钒、钼、铬、镱等物理化学性质
外观性状五（二甲氨基）钽，简称PDMAT，化学式为C10H30N5Ta，是一种金属有机化合物。外观呈橙色晶体，对水分敏感，遇水会迅速反应，分子结构由钽原子和五个二甲氨基配体组成，具备热稳定性好、蒸气压低等特点，作为前驱体材料，在原子层沉积（ALD）工艺以及化学气相沉积（CVD）工艺中应用较多。
熔点100 °C (dec.)(lit.)
沸点100°C 0,1mm
形态crystal
颜色橙色
敏感性湿气敏感
水解敏感性8: reacts rapidly with moisture, water, protic solvents
InChIInChI=1S/5C2H6N.Ta/c5*1-3-2;/h5*1-2H3;/q5*-1;+5
InChIKeyVSLPMIMVDUOYFW-UHFFFAOYSA-N
SMILES[Ta](N(C)C)(N(C)C)(N(C)C)(N(C)C)N(C)C
CAS 数据库19824-59-0
安全数据
警示词危险
危险性描述H228-H260-H314
危险品标志F,C
危险类别码11-14/15-34
危险品运输编号UN 3131 4.3/PG 1
WGK Germany3
TSCANo
存储类别4.3 - Hazardous materials which set free flammable gases upon contact with water
危险性类别Eye Dam. 1
Flam. Sol. 1
Skin Corr. 1B
Water-react 1
Flam. Sol. 1
Skin Corr. 1B
Water-react 1
应用领域
用途1
五(二甲氨基)钽(PDMAT)可作为TaN的前驱体，具有优良的导电性能，可用于半导体器件的电极部分的制造；在半导体后段工艺中作为扩散阻挡层使用；也可用于光伏电池正极的金属化；在45nm以下CMOS工艺中作为金属栅极材料前驱体使用。五(二甲氨基)钽可用于制备Ta2O5，其具有较高的介电常数，作为动态随机存储器(DRAM)、减反膜、高温阻抗、气敏传感器、电容器、高折射低色散特种光学玻璃、航空领域的高温特种陶瓷的关键材料。
五(二甲氨基)钽可选择性催化合成更高立体选择性的手性药物；在酶催化反应中提供额外的氧源，提高反应效率和稳定性；作为新型载体材料，可调节催化剂的理化性质，实现药物的传递和释放。