三(二甲胺基)硅烷可在电子工业中，作为气相沉积CVD薄膜技术中的前驱物使用。
物化性质
外观与性状：无色液体
闪点：38.4ºC
熔点：<0ºC
密度：0.838 g/cm3
沸点：139.8ºC at 760 mmHg
安全信息
海关编码：2931900090
危险品运输编码：UN 1993
危险类别码：R10
特性
相关的研究表明，三（二甲胺基）硅烷作为前驱体源不仅具有较好的稳定性、较高的蒸汽压，而且表现出了相当高的反应性，所以这种有机硅源成了目前ALD方法沉积SiO2研究的热点。
危害
三(二甲胺基)硅烷为无色、腐蚀性、伴有腥味的易燃液体。根据接触程度可能会对人体组织产生不同程度的刺激或灼伤，要避免接触。遇明火分解产生刺激性烟雾和有毒气体（二甲胺、碳氧化物、硅氧化物）；易燃蒸汽密度比空气重，会远距离传播并发生回火。遇水反应。泄漏对环境动植物产生危害。
应急措施
如皮肤（或头发）沾染：立即脱掉所有沾染的衣服，用大量肥皂和水清洗皮肤/淋浴；火灾时：使用制造商/供应商或主管部门列明适当的媒介灭火；遇水可能增加危险；掸掉皮肤上的细小颗粒，浸入冷水中/用湿绷带包扎；如误吞咽：漱口，不要诱导呕吐；漱口；沾染的衣服清洗后方可重新使用；如误吸入：将受害人转移到空气新鲜处，保持呼吸舒适的休息姿势。