三(二甲胺基)硅烷
| 中文名称 | 三(二甲胺基)硅烷 |
|---|---|
| 中文同义词 | 三(二甲基氨基)硅烷;三(二甲氨基)硅烷;三(二甲胺基)硅烷;三(二甲胺)硅;N,N,N',N',N'',N''-六甲基硅烷三胺;N,N,N',N',N'',N'-六甲基硅烷三胺 |
| 英文名称 | Tris(dimethylamino)silane |
| 英文同义词 | n,n,n’,n’,n’’,n’’-hexamethyl-silanetriamin;n,n,n’,n’,n’’,n’’-hexamethylsilanetriamine;N,N,N’,N’,N’’,N’’-hexamethyl-Silanetriamine;TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE 99+%;N,N',N''-(Silanetriyl)tris(dimethylamine);N,N',N''-Silanetriyltris(dimethylamine);TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE, 99.9+%;Tris(diMethylaMino)silane, 99+%, 14-8750, contained in 50 Ml Swagelok cylinder (96-1070) for CVD/ALD |
| CAS号 | 15112-89-7 |
| 分子式 | C6H19N3Si |
| 分子量 | 161.32 |
| EINECS号 | 239-165-0 |
| 相关类别 | 胺基金属类;硅烷试剂;有机硅;电子化学品;化工原料;ALD Precursors;organosilicon compounds |
| Mol文件 | 15112-89-7.mol |
| 结构式 |  |
三(二甲胺基)硅烷 性质
| 熔点 | <0°C |
|---|---|
| 沸点 | 145 °C |
| 密度 | 0,838 g/cm3 |
| 折射率 | 1.4247 |
| 闪点 | 25°C |
| 储存条件 | 2-8°C, protect from light |
| 酸度系数(pKa) | 10.93±0.70(Predicted) |
| 形态 | 液体 |
| 颜色 | 无色至淡黄色 |
| 比重 | 0.84 |
| 敏感性 | air sensitive, moisture sensitive |
| 水解敏感性 | 8: reacts rapidly with moisture, water, protic solvents |
| InChI | 1S/C6H19N3Si/c1-7(2)10(8(3)4)9(5)6/h10H,1-6H3 |
| InChIKey | TWVSWDVJBJKDAA-UHFFFAOYSA-N |
| SMILES | CN(C)[SiH](N(C)C)N(C)C |
| EPA化学物质信息 | N,N,N',N',N'',N''-Hexamethylsilanetriamine (15112-89-7) |
安全信息
| 危险品标志 | F,C |
|---|---|
| 危险类别码 | 10-36/37/38-52/53-34-29-20-15-11 |
| 安全说明 | 16-26-36/37/39-45-43 |
| 危险品运输编号 | 1993 |
| WGK Germany | 3 |
| RTECS号 | VV5800000 |
| TSCA | TSCA listed |
| 存储类别 | 4.3- 危险物，与水接触时会释放出可燃性气体 |
| 危险性类别 | 急性毒性 类别3 经皮 急性毒性 类别3 吸入 急性毒性 类别4 经口 严重眼损伤 类别1 易燃液体 类别2 皮肤腐蚀 类别1B 水-反应性类别2 |
| 毒性 | rabbit,LD50,skin,477mg/kg (477mg/kg),LIVER: OTHER CHANGESLUNGS, THORAX, OR RESPIRATION: CHRONIC PULMONARY EDEMA,Toxicology and Industrial Health. Vol. 5, Pg. 45, 1989. |