背景技术
随着半导体产业的快速发展，电子束光刻胶的市场需求持续增长。对苯二酚单甲基丙烯酸酯系列树脂单体产品是电子束光刻胶主体树脂的重要组成部分，项目的研发成功可打破发达国家的技术封锁，有助于我国系统地展开电子束光刻胶相关领域的研究并实现光刻胶材料的国产化，增强国际竞争力，维护国家战略安全，具有较强的战略意义。
对苯二酚单甲基丙烯酸酯系列产品由于其较好的透光性和光敏性广泛用于电子束光刻胶，由于对苯二酚单甲基丙烯酸酯衍生物聚合时，丙酸苯类单体中的双键极易聚合，而且，单体中的酸敏基团也容易分解，因此，对提纯条件的要求十分苛刻，此产品目前在国内市场几乎没有超净高纯质量要求的批量化产品。上游关键原材料的缺失，使国内的光刻 胶研发成本大大提高，为解决目前国内在光刻胶技术的空白，光刻胶成分的研发及应用迫在眉睫。但光刻胶原材料的供应问题仍然没有解决，国内没有完整的光刻胶产业链，开发制备超净高纯对苯二酚单甲基丙烯酸酯系列产品的生产工艺用于国产光刻胶的研发应用中是非常有必要的。
制备方法
在装有搅拌桨、冷凝管、温度计的5L四口瓶中加入2946ml正己烷，开启搅拌，加入对苯二酚55.1g，然后依次加入0.0072g阻聚剂对羟基苯甲醚和71.2g弱酸性离子交换树脂， 调节pH值至4.5，降温至‑10℃，加入71.2g的甲基丙烯酸异丁酯，保温反应4h，监测反应进 程，取样检测反应完全后，加入800ml水，搅拌，萃取分相，得到有机相，经过干燥后减压浓缩蒸干，得到对苯二酚单甲基丙烯酸酯83.2g，收率93.31%[1]。
参考文献
[1]河北凯诺中星科技有限公司. 一种电子束光刻胶用树脂单体对苯二酚单甲基丙烯酸酯的合成方法:CN202411734480.4[P]. 2025-04-25.