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テトラキス(ジメチルアミノ)チタン(IV)(3275-24-9)

ChemicalBook Optimization Suppliers
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電話番号: 4006608290; 18621169109
電子メール: market03@meryer.com
テトラキス(ジメチルアミノ)チタン(IV) 製品概要
化学名:テトラキス(ジメチルアミノ)チタン(IV)
英語化学名:TETRAKIS(DIMETHYLAMINO)TITANIUM
别名:Tetrakis(dimethylamino)titanium(IV), 99% TDMAT, 93-2240, contained in 50 ml Swagelok cylinder for CVD/ALD;Tetrakis(dimethylamino)titanium, (trace metal basis), 99.99%;Tetrakis(dimethylamino)titanium(IV), 99% TDMAT;Tetrakis(diMethylaMino)titaniuM, 99.99%, (trace Metal basis);Tetrakis(diMethylaMino)titaniuM, 99.99% 25GR;Tetrakis(DiMethylaMino)TitaniuM (Metals Basis);Tetrakis(diMethylaMino)titaniuM, 99.99% Metals basis;Tetrakis(diMethylaMido)titaniuM(IV) 99.999% trace Metals basis
CAS番号:3275-24-9
分子式:C2H7NTi
分子量:92.95
EINECS:221-904-3
カテゴリ情報:metal amide complex;ALD Precursors;Classes of Metal Compounds;Ti (Titanium) Compounds;Transition Metal Compounds
Mol File:3275-24-9.mol
テトラキス(ジメチルアミノ)チタン(IV)
テトラキス(ジメチルアミノ)チタン(IV) 物理性質
融点 <4°C
沸点 50 °C0.5 mm Hg(lit.)
比重(密度) 0.947 g/mL at 25 °C(lit.)
屈折率 1.55
闪点 -22 °F
貯蔵温度 Flammables area
外見 liquid
比重0.96
色yellow to orange
Hydrolytic Sensitivity8: reacts rapidly with moisture, water, protic solvents
Sensitive Moisture Sensitive
InChIKeyMNWRORMXBIWXCI-UHFFFAOYSA-N
CAS データベース3275-24-9(CAS DataBase Reference)
NISTの化学物質情報Tetrakis(dimethylamino)titanium(3275-24-9)
EPAの化学物質情報Methanamine, N-methyl-, titanium(4+) salt (3275-24-9)
安全性情報
主な危険性 F,C,Xi
Rフレーズ 11-14-34
Sフレーズ 16-26-36/37/39-43-45
RIDADR UN 3398 4.3/PG 1
WGK Germany 3
TSCA Yes
国連危険物分類 4.3
容器等級 II
HSコード 29319090
MSDS Information
ProviderLanguage
ACROS English
SigmaAldrich English
ALFA English
テトラキス(ジメチルアミノ)チタン(IV) Usage And Synthesis
外観黄色～橙色、液体
使用上の注意不活性ガス封入
化学的特性clear yellow to orange liquid
使用Tetrakis(dimethylamido)titanium(IV) (TDMAT) is a precursor to titanium nitride (TiN) thin films by organometallic chemical vapor deposition (OMCVD)and titanium dioxide thin films by atomic layer deposition (ALD).TDMAT undergoes exothermal reaction with excess cyclopentadiene to yield tris(dimethylamido)(η5-cyclopentadienyl)titanium(IV).
使用Precursors Packaged for Depositions Systems
一般的な説明Atomic number of base material: 22 Titanium
Tags:3275-24-9