四双(乙基甲基氨)铪(IV)
| 中文名称 | 四双(乙基甲基氨)铪(IV) |
|---|---|
| 中文同义词 | 四(乙基甲基氨)铪(IV);四双(乙基甲基氨)铪(IV),99%;四双(乙基甲基氨)铪(IV);四(甲乙氨基)铪;四(乙基甲基氨基)铪(IV);四(乙基甲基胺基)铪(IV);四(甲乙胺)铪;四(乙基甲基胺)铪 |
| 英文名称 | Tetrakis(ethylmethylamino)hafnium |
| 英文同义词 | Tetrakis(ethylmethylamino)hafnium, 99% (99.99+%-Hf, <0.15% Zr) PURATREM;Tetrakis(ethylmethylamino)hafnium, 99% (99.99+%-Hf, <0.15% Zr) PURATREM, packed in 50 ml Swagelok cylinder for CVD/ALD;Tetrakis(ethylMethylaMino)hafniuM, 99% (99.99+%-Hf, <0.15% Zr) PURATREM, 72-7720, contained in 50 Ml Swagelok cylinder (96-1070) for CVD/ALD;Tetrakis(ethylMethylaMido)hafniuM(IV) >=99.99% trace Metals basis;Tetrakis(ethylmethylamino)hafnium, 99% (99.99+%-Hf, <0.15% Zr) TEMAH;Tetrakis(ethylmethylamido)hafnium(IV), 99.99+%;tetrakis(ethylmethylamido)hafnium(iv);N-Methylethanamine, hafnium(4+) salt |
| CAS号 | 352535-01-4 |
| 分子式 | C12H32HfN4 |
| 分子量 | 410.9 |
| EINECS号 | |
| 相关类别 | 金属有机物;催化剂;胺基金属类;电子化学品;中间体;有机化工原料;有机贵金属催化剂;metal amide complex;ALD Precursors |
| Mol文件 | 352535-01-4.mol |
| 结构式 |  |
四双(乙基甲基氨)铪(IV) 性质
| 熔点 | <-50 °C |
|---|---|
| 沸点 | 79 °C0.1 mm Hg(lit.) |
| 密度 | 1.324 g/mL at 25 °C(lit.) |
| 闪点 | 52 °F |
| 储存条件 | 2-8°C |
| 形态 | 液体 |
| 比重 | 1.324 |
| 颜色 | 无色至黄色 |
| 敏感性 | Air & Moisture Sensitive |
| 水解敏感性 | 9: reacts extremely rapidly with atmospheric moisture - may be pyrophoric - glove box or sealed system required |
| InChI | InChI=1S/4C3H8N.Hf/c4*1-3-4-2;/h4*3H2,1-2H3;/q4*-1;+4 |
| InChIKey | NPEOKFBCHNGLJD-UHFFFAOYSA-N |
| SMILES | [Hf](N(C)CC)(N(C)CC)(N(C)CC)N(C)CC |
| EPA化学物质信息 | Ethanamine, N-methyl-, hafnium(4+) salt (4:1) (352535-01-4) |
四双(乙基甲基氨)铪(IV)是化学气相沉积(CVD)或原子层沉积工艺生长氮化铪或氧化铪的关键原材料。
安全信息
| 危险品标志 | F,Xi |
|---|---|
| 危险类别码 | 11-14-36/37/38 |
| 安全说明 | 16-26-36 |
| 危险品运输编号 | UN 3398 4.3/PG 2 |
| WGK Germany | 3 |
| TSCA | TSCA listed |
| 危险等级 | 4.3 |
| 包装类别 | II |
| 海关编码 | 2921199990 |
| 存储类别 | 4.3- 危险物，与水接触时会释放出可燃性气体 |
| 危险性类别 | 急性毒性 类别4 经口 严重眼损伤 类别1 易燃液体 类别2 皮肤腐蚀 类别1B 特异性靶器官毒性-一次接触，类别3 水 反应 类别1 |
| 提供商 | 语言 |
|---|---|
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英文
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| 更新日期 | 产品编号 | 产品名称 | CAS号 | 包装 | 价格 |
|---|---|---|---|---|---|
| 2024/01/16 | H27777 | 四双(乙基甲基氨)铪(IV),99% Tetrakis(ethylmethylamino)hafnium(IV), 99% | 352535-01-4 | 5g | 2535元 |
| 2024/01/16 | H27777 | 四双(乙基甲基氨)铪(IV),99% Tetrakis(ethylmethylamino)hafnium(IV), 99% | 352535-01-4 | 25g | 8397元 |