四(二甲氨基)钛是一种高效、关键的CVD/ALD前驱体,主要用于在半导体芯片中沉积不可或缺的氮化钛扩散阻挡层和电极材料,是现代微电子工业的基础化学品之一。必须在无水无氧的惰性气氛(如氩气、氮气)下,进行密封、避光、冷藏储存和操作。
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