四(二甲氨基)铪是一种重要的金属有机化合物。它为对空气和水分极其敏感的淡黄色液体,必须在惰性气氛下严格密封保存。该化合物是原子层沉积工艺的关键前驱体,主要用于制备高性能的铪基薄膜,特别是高介电常数(高-k)的氧化铪。在先进半导体制造中,氧化铪薄膜作为栅极介质,成功替代传统二氧化硅,极大地减小了晶体管的漏电流和功耗。其无卤素、高反应活性的特性,使其成为制造纳米级芯片不可或缺的核心原料之一。
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