硅化钒
工厂
现货
包装：1kg
纯度规格：99.9%
产地：安徽
更新日期：2024/04/17
产品应用制备硅化钒薄膜，用大束流密度的钒金属离子注入硅，能够直接合成性能良好的薄层硅化物。随束流密度的增加，硅化钒相生长，薄层硅化物的方块电阻RS 明显下降，当束流密度为25μA/cm2 时，Rs 达到最小值22Ψ，说明连续的硅化物已经形成。X 衍射分析表明，注入层中形成了V3Si 、V5Si3 、V3Si5 和VSi2 四种硅化钒。经过退火后，Rs 明显地下降，Rs 最小可降到9Ψ，电阻率可小到...