| 性状一 |
| 无色、不燃、也不助燃的窒息性气体。相对密度2.99。遇潮湿空气则生成浓密的白烟。对热很稳定。在-100℃时为无色液体，在-160℃时为白色固体。氟化硼分子是平面结构，原子间的所有三个键都是等值而无极性的。易溶于浓硫酸、浓硝酸、煤油、苯、三氯甲烷、四氯化碳、四氯乙烷、二硫化碳和硝基苯等有机溶剂，也易溶于水而且分解成硼酸和氟硼酸，并放出热量。氟化硼化学性质很活泼，它的反应可分为两类：导致氟化硼分子分解的反应；氟化硼分子不改变本身的组成而整个地进入新生成的化合物中的反应。氟化硼能与许多金属氧化物反应。在一般情况下，与钢不起作用。三氟化硼是不饱和的共价化合物，它倾向于再加成一个氟离子而转变成四氟硼酸。也能与氨、二氧化硫、氢化钠等发生加成反应。 |
| 性状二 |
| 无色气体，带有刺激窒息性臭味。相对密度：气体3.07666g/L。熔点-126.8℃。沸点/101℃。遇潮湿空气生成浓密的白烟。三相点-128.4℃(8.34 kPa)。临界温度-12.25℃。临界压力4984kPa。熔化热4.20 kJ/'mol；汽化热19.33 kJ/mol。在-100℃时为无色液体，在-160℃时为白色固体。易溶于浓硫酸、浓硝酸、煤油、苯、三氯甲烷、四氯化碳、二硫化碳和硝基苯等有机溶剂，溶于水而且分解成硼酸和氟硼酸，并放出热量。 |
| 所属类别一 |
| 无机化工产品: 无机盐: Cv电子工业用无机化工产 |
| 所属类别二 |
| 无机化工产品: 无机盐: Cb硼化物 |
| 用途与作用一 |
| 主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂。 |
| 用途与作用二 |
| 主要用作有机反应催化剂，如酯化、烷基化、聚合、异构化、磺化、硝化等。铸镁及合金时的防氧化剂。是制备卤化硼、元素硼、硼烷、硼氢化钠等的主要原料。还用于电子工业等。 |
| 合成工艺与制法一 |
氟硼酸钾、硼酐、硫酸法将氟硼酸钾和硼酐一起研磨均匀，按一定的配料比加入反应器中，再加入浓硫酸，不断搅拌，使固体和液体混合均匀，逐渐加热，到一定程度便有氟化硼产生。在温度达到40℃左右时，反应物开始沸腾，当温度达到93～130℃时，产生的气体最多。生成的氟化硼气体净化后进人收集器中。其反应式如下：
6KBF4+B2O3+6H2SO4→8BF3+6KHSO4+3H2O |
| 合成工艺与制法二 |
热分解法将精制氟硼酸钠为原料，加入到热分解器中，开始加热到384℃时氟硼酸钠分解，释放出的三氟化硼气体，经过净化后进入收集器中，制得高纯度三氟化硼。其反应式如下：
NaBF4[△]→BF3+NaF |
| 参考质量标准一 |
参考标准| 指标名称 | 指标 | | 电子级 | | 三氟化硼(BF3)含量/%≥ | 99.99 | | N2+O2含量/%≤ | 0.002 | | 二氧化硫(SO2)含量/%≤ | 0.001 | | 四氟化硅(SiF4)含量/%≤ | 0.002 | | 硫酸盐(以SO4计)含量/%≤ | 0.0008 |
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| 参考质量标准二 |
国家标准GB/T14603—93| 指标名称 | 指标 | | 优等品 | 一等品 | 合格品 | | 三氟化硼纯度/%≥ | 99.995 | 99.95 | 99.6 | | 空气含量/10-6＜ | 20 | 100 | 4000 | | 二氧化硫含量/10-6＜ | 10 | 10 | 20 | | 四氟化硅含量/10-6＜ | 20 | 300 | 300 | | 硫酸盐含量/10-6＜ | 8 | 8 | 10 |
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