六氟化钨(WF6)气体的应用 在钨的氟化物中,六氟化钨是稳定并被工业化生产的品种。它的主要用途是在电子工业中作为金属钨化学气相沉积(CVD)工艺的原材料,特别是用它制成的WSi2可用作大规模集成电路(LSI)中的配线材料。通过混合金属的CVD工艺制得钨和铼的复合涂层,可用于X-射线的发射电极。此外,六氟化钨在电子行业中还主要用作半导体电极和导电浆糊等的原材料。 六氟化钨还有许多非电子方面的应用,例如通过CVD技术使钨在钢的表面上生成坚硬的碳化钨可用来改善钢的表面性能。它还可用于制造某些钨制部件,如钨管和坩埚等。此外,WF6还被广泛用作氟化剂、聚合催化剂及光学材料的原料等。
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