六氟化钨

化学式WF6。分子量297.84。无色气体或淡黄色液体。有强刺激性。有毒，其毒性与氟相似。温度很低时呈白色固体。能溶于有机溶剂并产生特殊的颜色。遇水分解。在空气中被潮气分解而强烈冒烟，生成黄钨酸或三氧化钨。化学性质活泼。几乎能和所有的金属(除金和铂)反应。对镍、蒙乃尔合金和不锈钢也有腐蚀性，但Ni和不锈钢可抗其腐蚀性。干燥状态时，对玻璃的腐蚀性较弱，而在湿气中则能迅速反应。与气态氨反应强烈。能被氨水或碱所吸收。与碱金属氟化物可成复盐。溶于苯等多种有机溶剂。
【密度】 3.44×103kg/m3(15℃，液体)
【熔点】 2.5℃(5.6×104帕)
【沸点】 17.5℃
【临界温度】 171℃
【临界压力】 445.8kPa
【制备方法】 由金属钨粉与元素氟直接反应合成。
【主要用途】 （1）一种强氟化剂，用于气相沉积法制钨膜。（2）在微电子工业中用作化学气相淀积硅化钨或钨，以制作低电阻、 高熔点的互连线。

图1为六氟化钨分子结构式。六氟化钨（WF6）是唯一能稳定存在的钨的氟化物，具有极强的腐蚀性，可根据外界环境的变化表现出灵活的物化性能，被广泛应用于工业生产的各个领域。六氟化钨在电子工业中主要作为集成电路的配线材料使用，其在经过化学气相沉积工艺后可形成金属钨导体膜，钨导体膜在集成电子学中通常被用作高传导性的互连金属、金属层间的通孔和垂直接触的接触孔以及铝和硅间的隔离层，因此被广泛应用于半导体集成领域；另外，六氟化钨还可以应用于太阳能吸收器以及 X 射线发射电极的制造、导电浆糊等电子元器原材料。遇潮湿、空气或水会分解，放出剧毒和有腐蚀性的氟化氢烟雾。对皮肤、眼睛、粘膜能引起极严重的灼伤。高浓度暴露会引起恶心、呕吐、腹痛、抽搐、肾损伤。本信息由Chemicalbook晓楠编辑（2015-09-05）。装于特殊钢瓶内，贮于阴凉、通风的库房内。避免日光直射。远离热源和火源。防止受潮。与金属、玻璃制品隔离贮运。须贴“毒气”标志。航空、铁路禁止运输。周围其他可燃物着火时，可用干粉、二氧化碳灭火。可用水冷却钢瓶，迅速关闭阀门。眼睛受刺激可致盲，须不断用水冲洗，迅送医院诊治。 皮肤和粘膜受腐蚀后很难痊愈，须用水冲洗，再涂敷氧化镁甘油软膏或稀氨水，并就医诊治。压缩气体和液化气体遇水分解有毒氟化氢气体和钨酸库房通风低温干燥水TLV-TWA 5 毫克(钨)/立方米; STEL 10 毫克(钨)/立方米