四双(乙基甲基氨)铪(IV)是一种高纯度的金属有机化合物。该物质通常为对空气和水分极其敏感的无色至淡黄色液体,必须在无水无氧的惰性气氛下严格密封保存。它的主要应用是作为原子层沉积和化学气相沉积的关键前驱体,用于在半导体芯片制造中沉积高性能的高介电常数栅极介质层,如氧化铪薄膜。这类薄膜能有效替代传统的二氧化硅,显著减小晶体管的尺寸和功耗,是先进集成电路制造中的核心材料之一。其分子设计旨在平衡挥发性与反应活性,以实现优异的薄膜沉积性能。
安徽至善新材料有限公司
联系商家时请提及chemicalbook,有助于交易顺利完成!
至善新材料