五(二甲氨基)钽(V) 基本信息
| 中文名称 | 五(二甲氨基)钽(V) |
|---|---|
| 中文同义词 | 五(二甲氨基)钽(V);五(二甲胺)钽;五(二甲胺基)钽;五(二甲基氨基)钽(V);五(二甲氨基)钽;五(二甲基氨基)钽;五(二甲氨基)钽 (PDMAT) |
| 英文名称 | Pentakis(dimethylamino)tantalum |
| 英文同义词 | TANTALUM PENTAKIS(DIMETHYLAMIDE);TANTALUM PENTAKIS(DIMETHYLAMINO);TANTALUM (V) DIMETHYLAMIDE;PENTAKIS(DIMETHYLAMINO)TANTALUM;PENTAKIS(DIMETHYLAMINO)TANTALUM (V);PENTAKIS(DIMETHYLAMINO)TANTALUM 99.99%;Pentakis(dimethylamino)tantalum(V),99%;Ta(NMe2)5 |
| CAS号 | 19824-59-0 |
| 分子式 | C10H30N5Ta |
| 分子量 | 401.33 |
| EINECS号 | |
| 相关类别 | 金属有机物;化工原料;Metal amide salt;Catalysis and Inorganic Chemistry;Chemical Synthesis;Precursors by Metal;Tantalum;TantalumVapor Deposition Precursors |
| Mol文件 | 19824-59-0.mol |
| 结构式 |  |
五(二甲氨基)钽(V) 性质
| 熔点 | 100 °C (dec.)(lit.) |
|---|---|
| 沸点 | 100°C 0,1mm |
| 形态 | 晶体 |
| 颜色 | 橙色 |
| 水解敏感性 | 8: reacts rapidly with moisture, water, protic solvents |
| 敏感性 | moisture sensitive |
| InChI | InChI=1S/5C2H6N.Ta/c5*1-3-2;/h5*1-2H3;/q5*-1;+5 |
| InChIKey | VSLPMIMVDUOYFW-UHFFFAOYSA-N |
| SMILES | [Ta](N(C)C)(N(C)C)(N(C)C)(N(C)C)N(C)C |
| CAS 数据库 | 19824-59-0 |
化学性质
五（二甲氨基）钽，简称PDMAT，化学式为C10H30N5Ta，是一种金属有机化合物。外观呈橙色晶体，对水分敏感，遇水会迅速反应，分子结构由钽原子和五个二甲氨基配体组成，具备热稳定性好、蒸气压低等特点，作为前驱体材料，在原子层沉积（ALD）工艺以及化学气相沉积（CVD）工艺中应用较多。用途
五(二甲氨基)钽(PDMAT)可作为TaN的前驱体，具有优良的导电性能，可用于半导体器件的电极部分的制造；在半导体后段工艺中作为扩散阻挡层使用；也可用于光伏电池正极的金属化；在45nm以下CMOS工艺中作为金属栅极材料前驱体使用。五(二甲氨基)钽可用于制备Ta2O5，其具有较高的介电常数，作为动态随机存储器(DRAM)、减反膜、高温阻抗、气敏传感器、电容器、高折射低色散特种光学玻璃、航空领域的高温特种陶瓷的关键材料。
五(二甲氨基)钽可选择性催化合成更高立体选择性的手性药物；在酶催化反应中提供额外的氧源，提高反应效率和稳定性；作为新型载体材料，可调节催化剂的理化性质，实现药物的传递和释放。
生产方法
以五氯化钽与二甲胺为主要原材料，加入正丁基锂，经过充分反应、过滤、干燥等流程制得成品。安全信息
| 危险品标志 | F,C |
|---|---|
| 危险类别码 | 11-14/15-34 |
| 安全说明 | 16-26-36/37/39-43-45 |
| 危险品运输编号 | UN 3131 4.3/PG 1 |
| WGK Germany | 3 |
| TSCA | No |
| 存储类别 | 4.3- 危险物，与水接触时会释放出可燃性气体 |
| 危险性类别 | 严重眼损伤 类别1 易燃固体 类别1 皮肤腐蚀 类别1B 水 反应 类别1 |
| 提供商 | 语言 |
|---|---|
|
英文
|