六甲基二硅胺

六甲基二硅胺（六甲基二硅氮烷）是化学物质，为无色透明液体，英文缩写HMDS，是一种重要的有机硅化合物。沸点125℃，相对密度0.76（20/4℃）。溶于有机溶剂，与空气接触会迅速被水解生成三甲硅烷醇和六甲基二硅醚。易水解，放出NH3，生成六甲基二硅醚。该化合物有中等毒性，遇明火、高温、氧化剂等易燃；遇水分解有毒硅化物气体，燃烧产生有毒氮氧化物烟雾。需要与氧化剂、酸类分开存放。

六甲基二硅胺与许多含羰基的有机化合物反应生成气态氨。可能与异氰酸酯、卤化有机物、过氧化物、酚类(酸性)、环氧化物、酸酐和酸性卤化物不相容。可燃气体氢与强还原剂(如氢化物)结合可产生。

六甲基二硅胺主要用作烷基化甲基硅烷(如阿米卡星、青霉素、头孢菌素及各种青霉素衍生物)、抗生素的羟基保护剂；在半导体工业中用作硅藻土、白炭黑、钛及光刻胶的金色添加剂的表面处理剂；用作抗撕裂强度处理剂；在有机合成和有机金属化学中用作溶剂；在光刻中用作光刻胶的附着力促进剂。它用于从羟基化合物制备三甲基硅醚，也被用作电子显微镜样品制备过程中临界点干燥的替代方法。在气相色谱-质谱法裂解过程中，作为在分析物中加入硅基化的诊断产物。

将109g（1.0mol）三甲基氯硅烷溶于500ml无水乙醚，通入氨气，立即出现白色沉淀。加热至回流，慢慢通氨维持6h，使氯化铵沉降、过滤，取乙醚溶液先蒸出乙醚，再蒸出六甲基二硅氨烷，得52.5g六甲基二硅胺，收率65%。